真空泵與真空系統(tǒng)設(shè)計制造商

SFJ-231D型半導(dǎo)體專用氦質(zhì)譜檢漏儀

德國原裝分子泵，干式真空泵，雙銥帶離子源

獨特的氣路設(shè)計，較低的顆粒物干擾

自保護(hù)功能，防止本底被污染

自動抽空壓力和時間設(shè)定，檢漏效率高

移動式推車，較低的移動噪音

帶故障提示和報警功能

可選無線遙控功能


產(chǎn)品介紹

技術(shù)指標(biāo)單位SFJ-231D型
最小可檢漏率（真空模式）Pa·m3/s5×10-13
最小可檢漏率（吸槍模式）Pa·m3/s1×10-8
檢漏口壓力Pa1500/200/40
粗抽能力m3/h10
檢漏口規(guī)格"DN25 ISO-KF
啟動時間min≤2
接口"RS-232/485 USB*2
輸入/輸出接口"數(shù)字和模擬I/O，繼電器
尺寸mm645*678*965
重量kg75
電壓V220±10%,50Hz
最大功率W1000
語言"中文、英文
溫度℃10-40

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