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分子泵無法獨(dú)立工作，在選購分子泵的同時(shí)，需配套相應(yīng)的前級(jí)泵、閥門、冷卻系統(tǒng)等相關(guān)附件。為便于用戶選購使用，我司特推出分子泵機(jī)組。
得益于模塊化的設(shè)計(jì)原則，分子泵機(jī)組有諸多組合可能，可選配我司各種分子泵，并配套前級(jí)泵，真空計(jì)、冷卻系統(tǒng)、預(yù)抽閥系統(tǒng)及自動(dòng)控制系統(tǒng)。因此，分子泵機(jī)組能夠完美適配于高真空和超高真空領(lǐng)域的應(yīng)用要求。真空機(jī)組也提供定制化服務(wù)，可以單獨(dú)設(shè)計(jì)特殊結(jié)構(gòu)，滿足您的研發(fā)、加速器、分析和表面物理學(xué)以及真空工藝技術(shù)和一般真空應(yīng)用等各個(gè)領(lǐng)域的特殊應(yīng)用需求。
分子泵自動(dòng)機(jī)組包含自動(dòng)控制系統(tǒng)，根據(jù)程序控制各泵及閥門的啟停，實(shí)現(xiàn)預(yù)抽、前級(jí)、高閥的控制。適用于各種使用環(huán)境。用戶可根據(jù)需要定制閥門、主泵、前級(jí)泵及特殊功能。
| 分子泵 | 抽速 | 前級(jí)泵 | 抽速 |
| Turbo-H160-FF | 800L/S | 2RH010C | 36L/S |
| Turbo-H600-M | 600L/S | ||
| Turbo-H200-FF | 1400L/S | 2RH016C | 52L/S |
| Turbo-H1200-M | 1200L/S | ||
| Turbo-H250-FF | 2000L/S | 2RH030C/2RH040C | 108L/S/144L/S |
| Turbo-H1800-M | 1800L/S |
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