旋片真空泵在抽空工藝中的應(yīng)用

好凱德真空泵的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝？

容器抽空，即抽除密封容器中的空氣或氣體，是真空技術(shù)最為廣泛的應(yīng)用之一。這類(lèi)應(yīng)用種類(lèi)繁多。

所謂抽空，在多數(shù)環(huán)境空氣工業(yè)應(yīng)用中，一般理解為排空物理空間內(nèi)的氣體。當(dāng)環(huán)境空氣或氧氣的存在對(duì)制造或測(cè)試工藝產(chǎn)生干擾時(shí)，常需要進(jìn)行抽空。

根據(jù)應(yīng)用的不同，對(duì)真空度的要求也不盡相同，從中央真空系統(tǒng)要求的低真空到半導(dǎo)體生產(chǎn)硅片涂層的高真空。

容器抽空工藝應(yīng)用范圍廣泛，相應(yīng)地，此類(lèi)真空泵產(chǎn)品也各式各樣。挑選真空獲得設(shè)備時(shí)，需要考慮的關(guān)鍵因素包括排氣體積以及要求達(dá)到的容器最終壓力。基本上我們所有的真空泵都能達(dá)到此類(lèi)要求。

好凱德C旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝，因?yàn)槠溥\(yùn)行可靠且堅(jiān)固耐用，表現(xiàn)最好。

好凱德爪式真空泵無(wú)油無(wú)接觸運(yùn)行，基本無(wú)需維護(hù)。這類(lèi)節(jié)能型真空泵用于低真空抽氣工藝。

Edwards GXS螺桿真空泵特別適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。GXS真空泵采用無(wú)油螺桿技術(shù)，可以達(dá)到高真空度。

如果是高真空抽空工藝，雅之雷德機(jī)電科技建議采用由C旋片真空泵或無(wú)油爪式真空泵及EdwardsEH系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統(tǒng)。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括渦輪分子真空泵和擴(kuò)散真空泵。

雅之雷德真空技術(shù)在抽氣工藝中的常見(jiàn)應(yīng)用范例：

真空包裝——包裝腔體抽空

容器真空系統(tǒng)——真空容器長(zhǎng)期保持真空度

熱處理——真空爐抽空

表面涂層——鍍膜室抽空

模具排氣——鑄造質(zhì)量?jī)?yōu)化

空間模擬——空間模擬室抽氣

傳送室——晶片生產(chǎn)

工藝室——主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)